净化工程中控制温度和湿度的具体措施是什么？

日期：2023-05-16 15:29:55 点击：489 来源：石家庄亚洁净化材料科技有限公司

净化工程中控制温度和湿度的具体措施是什么？
  净化工程洁净室的温度和湿度主要取决于您的加工要求，在满足加工技术的条件下，应考虑人体舒适度。随着机械净化板对空气纯度的需求，对过程中的温度和湿度的要求也越来越高，达到一定的温湿度水平。例如，在用于大规模生产集成电路的光刻曝光方法中，作为掩模材料的玻璃和硅片之间的热膨胀系数差异越来越不必要。硅片的直径为100um，温度升高1度，导致0.24um的线性膨胀。因此，温度恒定在±0.1度，需要低湿度值，因为人体出汗后产品会被污染，钠半导体车间很害怕。这样的车间温度不应超过25度。
  过量的水生产还有更多的问题。当相对湿度超过55%时，冷却水管壁可能暴露在外，如果发生在精密设备或电路中，可能会导致各种事故。相对湿度易生锈50%。净化工程中控制温度和湿度的具体措施是什么？
  然而，对于大多数清洁空间来说，有必要将内部压力（静压）保持在外部压力（静态压力），以避免外部污染侵入。压差的维护应遵循以下原则：
1.高清洁度空间中的压力应高于相邻的低清洁度空间。
2.连接洁净室的门应通向高纯度的房间。
3.洁净空间的空气淋浴间的压力应大于非洁净空间的压力。

压差的维持取决于新的空气量，它补偿了在这种压差下从裂缝中逸出的空气量。因此，压差的物理意义是空气体积对通过洁净室中不同缝隙泄漏（或渗透）的阻力。
对于体积庞大的洁净室，由于空气稀释效果主要用于减少室内污染，因此主要采用换气频率的概念，但没有直接使用速度的概念。然而，室内气流速度也有以下要求；
1.进出口处的气流速度不应过高。与简单的空调房间相比，所需的速度应该更快地降低，扩散角应该更大。
2.通过水平面吹送的气流的速度（如返回侧面的速度）不应过高，以避免将表面颗粒吹进气流中，造成进一步的污染。不应以0.2m/s的速度进行干燥。